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高纯气体管道设计要点

来源:www.sunny-pv.com  |  发布时间:2025年08月13日

  高纯气体(如超高纯氮气、氧气、氢气、电子级特气等)因应用场景(半导体、制药、精密仪器、实验室等)对纯度要求很 高(通常 99.999% 以上,甚至 ppb 级),其管道设计需严格避免污染、泄漏及气体滞留,同时保障系统稳定与安全。以下是核心设计要点:

  阀门与附件:低死角、高兼容

  阀门及附件需避免 “死体积”(气体滞留空间),且材质与管道匹配。

阀门


  阀门选择:

  优先用隔膜阀(无死角,膜片材质为 PTFE 或全氟醚)或波纹管阀(波纹管密封,避免阀杆处泄漏);

  禁止使用闸阀、球阀(阀体内腔有死角,易积杂质);

  阀门材质需为 316L EP,与管道同材质,避免电化学腐蚀。

  附件要求:

  压力表、流量计等需选 “高纯级”,接口采用焊接或无死角法兰,内部腔体光滑无毛刺;

  支架材质需与管道兼容(如 316L 不锈钢),避免用碳钢(可能锈蚀污染),支架间距需合理(≤1.5m),防止管道振动导致连接处松动。